一种氮化硅微环集成硒化镓薄膜的光频率转换器

摘要

本发明涉及一种氮化硅微环集成硒化镓薄膜的光频率转换器，包括双直波导型氮化硅微环腔和硒化镓薄膜，其特征在于硒化镓薄膜覆盖于双直波导型氮化硅微环腔的上表面。泵浦光由上路直波导通过侧边耦合进入氮化硅微环腔；所述氮化硅微环腔对泵浦光场具有放大作用使微环表面形成很强的倏逝光场；所述倏逝光场与具有超高二阶非线性系数的硒化镓薄膜相互作用高效率地产生倍频光或和频光；产生的倍频光或和频光由氮化硅微环腔耦合至下路直波导而输出。本发明有益于形成一种制备工艺简单、成本低、结构紧凑且具有高转换效率的光频率转换器，有望在光通信和光子集成芯片等领域得到应用。