公开/公告号CN113045070A
专利类型发明专利
公开/公告日2021-06-29
原文格式PDF
申请/专利权人 天津星源信德环保科技有限责任公司;
申请/专利号CN201911385791.3
申请日2019-12-29
分类号C02F9/08(20060101);C02F103/16(20060101);C02F101/20(20060101);
代理机构
代理人
地址 300113 天津市南开区红日南路52号厂院内28号
入库时间 2023-06-19 11:40:48
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2023-07-21
发明专利申请公布后的视为撤回 IPC(主分类):C02F 9/08 专利申请号:2019113857913 申请公布日:20210629
发明专利申请公布后的视为撤回
机译: 一种纳米加工方法,其中使用了可固化的抗蚀膜,以及一种包含抗蚀膜的物品
机译: 一种纳米加工方法,其中使用了可固化的抗蚀膜,以及一种包含抗蚀膜的物品
机译: 一种纳米加工方法,其中使用了可固化的抗蚀膜,以及一种包含抗蚀膜的物品