一种铝纳米粒子制备装置、制备方法及其应用

摘要

本发明公开了一种铝纳米粒子制备装置，包括腔体、密封罩，腔体上安装有凸透镜玻璃腔和平面镜玻璃腔，凸透镜玻璃腔和平面镜玻璃腔在同一水平面上，该水平面上还安装有第一电动旋转台和第二电动旋转台，第一电动旋转台上设置有第一基底底座，第二电动旋转台上设置有第二基底底座，第一基底底座上设置有铝靶，第二基底底座上设置有沉积基底；腔体上还设置有真空抽孔。一种铝纳米粒子制备装置的应用方法，其特征在于：实现超快激光对铝纳米粒子沉积基底的纳米级超分辨刻蚀。本发明装置可实现铝纳米粒子在真空环境中的制备，解决了铝纳米粒子在空气中被快速氧化并易发生爆炸，提高制备的安全性。