公开/公告号CN113048917A
专利类型发明专利
公开/公告日2021-06-29
原文格式PDF
申请/专利权人 苏州意钓缘贸易有限公司;
申请/专利号CN202110305191.2
发明设计人 孔德东;
申请日2021-03-23
分类号G01B11/26(20060101);G01C9/00(20060101);G01C9/02(20060101);
代理机构
代理人
地址 215031 江苏省苏州市平江新城城北东路1088号
入库时间 2023-06-19 11:40:48
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2023-03-10
发明专利申请公布后的撤回 IPC(主分类):G01B11/26 专利申请号:2021103051912 申请公布日:20210629
发明专利申请公布后的撤回
机译: 基于激光诱导等离子体(LIP)的原子发射光谱仪,包括原子发射光谱仪的半导体制造设施以及使用原子发射光谱仪制造半导体器件的方法
机译: 一种基于晶体开关光子的带隙效应的半导体激光器,其较高模式的激光辐射及其制造方法
机译: 基于激光诱导等离子体的原子发射光谱仪装置,包括相同结构的半导体制造设备以及使用相同结构制造半导体元件的方法