能量调节装置、能量调节方法、照明系统以及光刻机

摘要

本发明公开了一种能量调节装置、能量调节方法、照明系统以及光刻机。该能量调节装置包括：匀光单元、光强调节单元、光强测量单元以及控制单元，光强调节单元和光强测量单元分别于控制单元连接；匀光单元包括相对设置的入射端和出射端，以及连接入射端与出射端的侧壁；匀光单元的至少部分侧壁被光强调节单元包覆；光强测量单元用于测量匀光单元的出射端的实际光强，并反馈至控制单元；控制单元用于调节光强调节单元和/或匀光单元，以调整匀光单元与光强调节单元中的调光介质的接触面积，以使实际光强等于需求光强。本发明的技术方案，可简化能量调节装置和方式，工艺要求低；从而可降低成本，提高生产效率和产率，从而有利于提高经济适用性。