一种基于白光干涉法的微光纤直径测量方法及装置

摘要

本发明公开了一种基于白光干涉法的微光纤直径测量方法，包括：搭建卧式白光干涉光路；将微光纤夹装在夹具后固定到三维载物台上；移动三维载物台，使白光干涉光路的成像位置在微光纤前侧；将夹装好的待测微光纤进行加热；设置伺服位移系统的位移参数，启动位移系统，利用白光对待测微光纤进行定时定距离的垂直扫描；扫描之后的反射光入射到CCD；对获得的图像进行处理分析，计算出加热拉伸过程中微光纤的直径。本发明通过搭建卧式白光干涉光路实现微光纤直径的测量，准确计算出微光纤在加热拉伸过程中直径变化；检测过程无接触无损坏，不会对微光纤在加热拉伸过程产生不利影响，整体稳定性较高。