一种基于CQP的激光干涉仪与光轴精密定位调装装置及方法

摘要

本发明为解决实际光束光轴的定位精度低的问题，提出一种基于CQP的激光干涉仪与光轴精密定位调装装置及方法，其中装置包括激光光源、CQP系统、数据处理单元、参考标准件和三坐标测量机，CQP系统包括一个分束镜和两个探测器；三坐标测量机用于测量参考标准件的位置信息。根据CQP系统输出信号调节光束至与CQP主轴重合，采用三坐标测量机计算CQP系统主轴与参考标准件的相对位置关系；将CQP系统放置在目标安装位置，根据实际光轴位置结合相对位置关系，采用三坐标测量机计算参考标准件的安装位置，并将参考标准件安装在相应位置；调节实际光束光轴与CQP系统的主轴重合，完成激光干涉仪与光轴精密定位调装。