喇叭状微结构阵列粘附表面的制备工艺

摘要

本发明公开了一种喇叭状微结构阵列粘附表面的制备工艺，包括如下步骤：加工出具有凹腔和喇叭状微结构通孔阵列的通孔模具；加工出柔性薄膜；将通孔模具的下侧面键合在柔性薄膜的上表面上；将柔性薄膜的下表面与气压腔室壳体密封连接围成气压可调腔室；保持气压可调腔室与大气相通，将第一液态橡胶弹性体浇入凹腔和喇叭状微结构通孔阵列中，并在真空环境中脱泡；脱泡完成后，对气压可调腔室施加气体压力，使得柔性薄膜产生向各个圆台形通孔内凹的弯曲曲面，得到喇叭状微结构阵列粘附表面。本发明可以对喇叭状微结构阵列粘附表面进行大面积、批量化、一致性制备，通过调整气体压力可以控制内凹圆弧曲面的形状，制备流程简单、调控方便且成本低。