使用基于深度学习的缺陷检测及分类方案进行像素级图像量化

摘要

图像中的可能缺陷的热图可表示为对应于每一像素的缺陷概率指数的矩阵。所述图像可自从扫描电子显微镜或其它检验工具的检测器接收的数据产生。可量化所述图像中的超过所述矩阵中的对应阈值的像素的数目。