一种团簇结构的高纯微纳钨粉的制备方法

摘要

本发明公开了一种团簇结构的高纯微纳钨粉的制备方法，其包括：(a)以高纯度的仲钨酸铵为初始原料，将其溶解于低浓度氨水中得到钨酸铵溶液；(b)向上述得到钨酸铵溶液中加入表面活性剂，接着加入盐酸，经中和结晶得到钨酸铵前驱体；(c)将上述得到的钨酸铵前驱体煅烧得到泡沫状氧化钨；(d)氢气还原处理泡沫状氧化钨得到高纯微纳钨粉。本发明的制备方法所用的原料成本低，流动性好，工艺简单，制备的高纯微纳钨粉为团簇结构，纯度高于99.999％，与现有技术相比，所制备的高纯微纳钨粉的粒径尺寸显著更小，氧含量显著更低，能够满足微电子领域高端使用要求。