一种基于硅基光波导的三维模式分离/复用器及其制备方法

摘要

一种基于硅基光波导的三维模式分离/复用器，属于集成光电子学技术领域。以硅片为衬底，由三个波导Core1、Core2和Core3组成，三个波导从下至上均为二氧化硅下包层、硅芯层和二氧化硅上包层结构；Core1为少模波导，位于三维模式分离/复用器的中间位置，支持E11、E12、E21三种模式；Core2和Core3为单模波导，支持E11模式；单模波导Core2放置在少模波导Core1横截面的x轴正方向，与Core1构成水平方向的非对称定向耦合器；单模波导Core3放置在少模波导Core1横截面的y轴正方向，与Core1构成垂直方向的非对称定向耦合器。该器件在光学信息处理、光学通信等领域具有重要的应用价值和发展前景。