可用于kHZ交流线性滤波的微型超级电容器的制备方法

摘要

本发明公开了一种可用于kHZ交流线性滤波的微型超级电容器的制备方法，主要解决传统铝电解电容体积大和特征频率小的问题。其实现方案是：1)通过光刻在目标衬底上做出图案化光刻胶‑目标衬底；2)利用电子束蒸发设备在该图案化衬底上沉积金属集流体，形成金属集流体/光刻胶‑目标衬底结构，并利用等离子氧设备对其进行清洁；3)在清洁后金属集流体表面制作电极材料涂层并去除光刻胶，形成电极材料‑金属集流体‑目标衬底结构；4)在电极材料表面滴涂电解质，引出正负电极引线并用PDMS封装，完成微型超级电容器器件的制作。本发明制作的器件体积及电极尺寸小，特征频率可达到kHz以上，可用于微型整流电路的制作。