一种用于制备钙钛矿太阳电池的团簇式沉积系统

摘要

本发明涉及太阳电池生产工艺研发领域，特别涉及一种用于制备钙钛矿太阳电池的团簇式沉积系统。包括样品过渡舱、轨道式传输装置、悬臂式传输装置及多个薄膜材料制备腔室，其中多个薄膜材料制备腔室均与样品过渡舱连接，样品过渡舱集成有光谱分析功能，悬臂式传输装置设置于所述样品过渡舱内，轨道式传输装置置于一个或多个所述薄膜材料制备腔室内。本发明实现多种薄膜材料按设计顺序分层制备、处理、分析，最后完成钙钛矿太阳电池的整个制备过程。本系统优点在于集成度高，样品过渡腔配备有透明窗口，用于光谱分析。