法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2022-11-29
授权
发明专利权授予
机译: 具有形式双折射的表面特征测量系统,具有形式双折射的特征尺寸测量方法,具有高横向分辨率的各向异性样品的临界尺寸的测量装置以及具有样品的高分辨率的临界尺寸的方法
机译: 对象的聚合物膜,光学几何特性,例如厚度,测量方法例如包装行业,涉及基于折射率的厚度确定或基于条纹傅里叶变换的厚度确定折射率
机译: 透射波阵面测量方法,折射率分布测量方法和透射波阵面测量设备,其计算频率分布并基于频率分布中的主频谱获得物体的透射波阵面