法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2022-05-17
授权
发明专利权授予
机译: 用于表面粗糙度或物体偏转的干涉测量系统-具有用于使反射光束在测量光束路径中偏转的探头,并在光检测器之前具有干涉式孔径,该孔径用于存储光源和反射器的成像以及不均匀性。
机译: 电子,电荷粒子或激光束系统用于在大基板上测试集成电路的装置-具有偏转系统,用于通过提取电极的孔径槽的一次电子束,以及用于检测从被测物体表面产生的二次电子的分数的检测器
机译: 具有光束偏转装置的多孔径成像装置,该光束偏转装置包括反射面