公开/公告号CN112845296A
专利类型发明专利
公开/公告日2021-05-28
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申请/专利权人 至微半导体(上海)有限公司;江苏启微半导体设备有限公司;
申请/专利号CN202011631610.3
申请日2020-12-31
分类号B08B3/02(20060101);B08B3/08(20060101);B08B3/10(20060101);B08B3/12(20060101);B08B13/00(20060101);H01L21/67(20060101);
代理机构31105 上海智力专利商标事务所(普通合伙);
代理人杜冰云;周涛
地址 200241 上海市闵行区紫海路170号1幢3层03室
入库时间 2023-06-19 11:09:54
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2022-08-23
授权
发明专利权授予
机译: 晶圆湿法清洗设备化学溶液加热装置
机译: 清洗系统的装置,具有气体和固体颗粒,以改善解吸
机译: 清洗系统的装置,气体和固体颗粒改善解吸