一种溅射靶材用钼铌合金靶材的制备方法及装置

摘要

本发明公开了一种溅射靶材用钼铌合金靶材的制备方法及装置，其技术方案是：包括研磨混料仓，研磨混料仓底部两端均固定连接有支撑斜板，研磨混料仓顶部设有电机，电机两侧均设有进料漏斗，进料漏斗底部固定连接有进料管道，进料管道与研磨混料仓顶部固定连接，进料管道一侧固定连接有密封阀，研磨混料仓内侧设有研磨混合机构，一种溅射靶材用钼铌合金靶材的制备方法及装置的有益效果是：提升了生产的钼铌合金靶材质量，降低了成本浪费，避免了现有的钼金属粉末和铌金属粉末混合时无法完全混合均匀，导致钼铌金属混合粉末在冷等静压时压坯孔隙度较高，造成烧结后板材密度较低，生产的钼铌合金靶材质量较差而使得生产效率较低。