工件的超声-等离子体电解复合加工方法和加工装置

摘要

本申请公开了工件的超声‑等离子体电解复合加工方法和加工装置。该加工方法包括以下步骤：在非金属层和工具电极之间提供电解液；金属层连接电解加工电源的正极，工具电极连接电解加工电源的负极，在金属层和工具电极之间施加直流电压；使工具电极从非金属层远离金属层的一侧相对非金属层移动，并将超声波引导向非金属层。上述方法中，首先由引导向非金属层的超声波对其表面进行加工，在超声加工过程中，诱导生成的等离子体能够促进超声加工的溶液循环，使超声加工的产物迅速排出加工区。在完成非金属层的加工后，金属层裸露出来，从而对金属层进行超声电解并行加工。