一种等离子体大规模连续制备垂直取向石墨烯的装置及方法

摘要

本发明公开了一种等离子体大规模连续制备垂直取向石墨烯的装置：通过带有挡板阀并连接真空泵的真空腔体；辐射加热器、进料辊、收料辊、支撑辊、石英管从下至上依次安装在真空腔体内部；微波电源、磁控管和波导管依次连接，天线的一端固定在波导管内，天线的另一端伸入到石英管内，伸入到石英管内的天线外部套有锥形屏蔽管；基底材料缠绕在进料辊上，并穿过支撑辊固定在收料辊上；进料辊与收料辊安装在同一高度；真空腔体的顶部设有红外测温仪。本发明还公开了采用上述装置等离子体大规模连续制备垂直取向石墨烯的方法。本发明提供的装置及方法既能保证垂直取向石墨烯的高速生长，又能实现垂直取向石墨烯大规模和连续可控制备。