光学膜的卷曲的分析方法和分析装置

摘要

用支承装置来支承圆形的光学膜的中心部，通过配置于从该光学膜的中心部向径向外侧偏离的位置的测定装置来测定该测定装置自身与以所述中心部为原点的圆周上的各处之间的距离，基于由测定装置测定出的距离来导出表示光学膜的卷曲的卷曲信息。

说明书

相关申请

本申请主张日本特愿2018-223287号的优先权，并通过引用而引入到本申请说明书的记载中。

技术领域

本发明涉及一种对光学膜中产生的卷曲进行分析的光学膜的卷曲的分析方法和分析装置。

背景技术

以往，在检查片材(例如，纸、塑料膜等)的质量时，有时分析该片材的卷曲(翘曲情况)。

在片材的卷曲的分析中，有时使用例如专利文献1的第1图中图示那样的卷曲评价装置，该卷曲评价装置具备：转台，其用于载置作为测定对象的光学膜；第一扇形光束投射装置，其从该转台的上方朝向片材的端部照射光；第一光扇形光束受光装置，其在上下方向上配置在与第一扇形光束投射装置排列的位置，且接受来自第一扇形光束投射装置的光；第二扇形光束投射装置，其从片材的中心部朝向该片材的端部照射光；第二扇形光束受光投射装置，其在水平方向上配置在与所述第二扇形光束投射装置排列的位置，且接受来自第一扇形光束投射装置的光；以及评价装置，其基于由第一光扇形光束受光装置和第二光扇形光束受光装置接受到的光的信息，来评价片材的卷曲。

在转台上载置长方形的片材。另外，转台构成为在保持着所载置的片材的中心部的状态下使该片材旋转。

而且，第一扇形光束投射装置和第二扇形光束投射装置虽设置在不同的位置，但是构成为能够向片材的端部的相同场所投射光。

因此，根据所述卷曲评价装置，能够一边通过转台来使片材旋转，一边获取由第一光扇形光束受光装置接受到的第一扇形光束投射装置的光的信息、以及由第二光扇形光束受光装置接受到的第二扇形光束投射装置的光的信息，并基于根据这些光的信息计算出的片材的外周端部整周在上下方向上的位置，来评价片材的卷曲。

另外，在上述结构的卷曲评价装置中，长方形的片材的中心部被保持于转台。因此，例如，随着从片材的长边的中央部变为角部侧(通过长边与短边交叉而形成的角部侧)，从转台对片材的保持位置起到片材的外周端的距离变大。

另外，片材在被保持于转台上的状态下还产生因自重导致的挠曲，但是与距保持位置的距离相应地，挠曲量发生变化。

这样，在进行用于评价卷曲的测定的片材的外周端部的各处，除了卷曲本身的挠曲以外，还与距保持位置的距离相应地产生大小不同的挠曲，而在上述结构的卷曲评价装置中，不考虑挠曲的影响地测定片材的外周端部，因此测量出的卷曲的准确度下降，这成为问题。另外，在分析光学膜的卷曲的情况下也同样能够发生这种问题。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开昭62-203006号公报

发明内容

发明要解决的问题

因此，本发明鉴于所述实际情况，将以下作为问题：提供一种能够提高光学膜的卷曲的分析结果的准确度的光学膜的卷曲的分析方法和分析装置。

用于解决问题的方案

本发明的光学膜的卷曲的分析方法为：

使支承装置支承作为卷曲的分析对象的圆形的光学膜的中心部，

将测定上下方向上到所述光学膜的距离的测定装置配置在被所述支承装置支承着的所述光学膜的上方或者下方且从所述中心部向所述光学膜的径向外侧偏离的位置，

一边使所述支承装置所支承着的所述光学膜以通过所述光学膜的所述中心部且沿所述上下方向延伸的纵轴线为中心来旋转、或者使所述测定装置沿着以所述纵轴线为中心的周向移动，一边通过所述测定装置来测定所述距离，

基于由所述测定装置测定出的所述距离，来导出表示所述光学膜的卷曲的状态的卷曲信息。

本发明的另外的光学膜的卷曲的分析方法为：

将作为卷曲的分析对象的圆形的光学膜的一面朝向与上下方向交叉的交叉方向，在此基础上使支承装置支承该光学膜的中心部，

将测定所述交叉方向上到所述光学膜的距离的测定装置配置于在所述交叉方向上与被所述支承装置支承着的所述光学膜相向且从所述中心部向所述光学膜的径向外侧偏离的位置，

一边使所述支承装置所支承着的所述光学膜以通过所述光学膜的所述中心部且沿所述交叉方向延伸的交叉轴线为中心来旋转，一边通过配置位置固定的状态的所述测定装置来测定所述距离，

基于由所述测定装置测定出的所述距离，来导出表示所述光学膜的卷曲的状态的卷曲信息。

在本发明的光学膜的卷曲的分析方法中，也可以是，

由所述测定装置测定所述距离的位置是所述光学膜的外周侧且比所述光学膜的外周端靠内侧的位置。

本发明的光学膜的卷曲的分析方法也可以为：

基于所述卷曲信息来导出表示所述卷曲的曲率的曲率信息。

在本发明的光学膜的卷曲的分析方法中，也可以是，

将所述光学膜的直径设为10mm～100mm。

另外，在本发明的光学膜的卷曲的分析方法中，也可以是，

通过所述支承装置所具有的、用于配置所述光学膜的支承基部、以及用于将所述光学膜固定于该支承基部且能够利用磁力来隔着所述光学膜而吸附于所述支承基部的固定部，来夹持所述光学膜。

本发明的光学膜的卷曲的分析装置构成为，具备：

支承装置，其用于支承作为卷曲的分析对象的圆形的光学膜的中心部；

测定装置，其测定上下方向上到所述光学膜的距离，配置于被所述支承装置支承着的光学膜的上方或者下方且从所述中心部向所述光学膜的径向外侧偏离的位置；以及

卷曲导出单元，其基于所述测定装置所测定出的所述距离，来导出表示所述光学膜的卷曲的状态的卷曲信息，

其中，所述光学膜的卷曲的分析装置一边使所述光学膜以通过所述支承装置所支承着的所述光学膜的所述中心部且沿所述上下方向延伸的纵轴线为中心来旋转、或者使所述测定装置沿着以所述纵轴线为中心的周向移动，一边通过所述测定装置来测定所述距离。

本发明的另外的光学膜的卷曲的分析装置构成为，具备：

支承装置，其在将作为卷曲的分析对象的圆形的光学膜的一面朝向与上下方向交叉的交叉方向的状态下，支承该光学膜的中心部；

测定装置，其测定所述交叉方向上到所述光学膜的距离；

测定装置，其配置于在所述交叉方向上与所述支承装置所支承着的所述光学膜相向且从所述中心部向所述光学膜的径向外侧偏离的位置；以及

卷曲导出单元，其基于所述测定装置所测定出的所述距离，来导出表示所述光学膜的卷曲的状态的卷曲信息，

其中，所述光学膜的卷曲的分析装置一边使所述支承装置所支承着的所述光学膜以通过所述光学膜的所述中心部且沿上下方向延伸的纵轴线为中心来旋转，一边通过配置位置固定的状态的所述测定装置来测定所述距离。

在本发明的光学膜的卷曲的分析装置中，也可以是，

所述测定装置构成为在所述光学膜的外周侧且比所述光学膜的外周端靠内侧的位置测定所述距离。

本发明的光学膜的卷曲的分析装置也可以是，

还具备曲率导出单元，该曲率导出单元基于所述卷曲信息，来导出表示所述卷曲的曲率的曲率信息。

在本发明的光学膜的卷曲的分析装置中，也可以是，

所述光学膜的直径为10mm～100mm。

在本发明的光学膜的卷曲的分析装置中，也可以是，

所述支承装置具有：

支承基部，其用于配置所述光学膜；以及固定部，其用于将所述光学膜固定于该支承基部，能够利用磁力来隔着所述光学膜而吸附于所述支承基部。

附图说明

图1是本发明的一个实施方式所涉及的光学膜用的卷曲的分析装置的概要图。

图2是该实施方式所涉及的光学膜用的卷曲的分析装置中的支承装置的局部放大图。

图3是该实施方式所涉及的光学膜用的卷曲的分析装置中的从上方观察配置于支承基部上的试样膜而得到的图。

图4是该实施方式所涉及的光学膜用的卷曲的分析装置中的处理装置的框图。

图5是由该实施方式所涉及的光学膜用的卷曲的分析装置导出的卷曲信息(卷曲曲线)的说明图。

图6是该实施方式所涉及的光学膜用的卷曲的分析装置中的曲率导出处理的说明图。

图7是该实施方式所涉及的光学膜用的卷曲的分析装置中的曲率导出处理的说明图，是在y轴上从上方观察从测定装置的测定路线上的测量轨迹起基于半径的圆来制作出的圆筒而得到的图。

图8是该实施方式所涉及的光学膜用的卷曲的分析方法中的试样膜的形成方法的说明图。

图9是该实施方式所涉及的光学膜用的卷曲的分析装置的主要动作的流程图。

具体实施方式

下面，参照附图来说明本发明的一个实施方式所涉及的光学膜用的卷曲的分析装置和分析方法。

光学膜用的卷曲的分析装置(以下称为分析装置)是对光学膜(例如，偏振膜)中产生的卷曲(弯曲)进行分析的系统。

如图1所示，分析装置1具备：测定单元2，其测定作为分析对象的光学膜(以下称为试样膜)F的状态；以及处理装置3，其基于由该测定单元2测定出的试样膜F的状态，来进行对该试样膜F中产生的卷曲进行分析的处理。此外，光学膜F例如是指偏转膜、相位差膜。另外，光学膜F的厚度例如为1～100μm。

测定单元2具备：支承装置20，其用于支承试样膜F；测定装置21，其测定被该支承装置20支承着的试样膜F的卷曲的状态；以及基座22，支承装置20和测定装置21设置于该基座22。

试样膜F被形成为从中心起到外周端的各位置的距离(半径)相同或大致相同的圆形。另外，试样膜F的直径优选为10mm～100mm，更有选为10mm～50mm，进一步优选为10mm～30mm。

支承装置20构成为支承圆形的试样膜F的中心部。

本实施方式所涉及的支承装置20具备：支承基部200，其为轴状且从基座22向上方伸出；固定部201，其用于将试样膜F(试样膜F的中心部)固定于该支承基部200的顶端面；以及旋转驱动部202，其用于使支承基部200旋转。

如图2所示，支承基部200为使长边方向与上下方向对应的姿势。即，支承基部200被设置为纵向。另外，支承基部200的顶端面是试样膜F的一面所抵接的抵接面200a。在本实施方式中，如上所述，支承基部200设置为纵向，因此试样膜F被载置于支承基部200的抵接面200a上。

固定部201构成为与支承基部200的抵接面200a协同来夹持试样膜F。本实施方式的固定部201构成为：固定部201与支承基部200的抵接面200a利用磁力来吸附。另外，固定部201和支承基部200的抵接面200a构成为在彼此之间隔着试样膜F的状态下产生相互吸附的强度的磁力即可。

固定部201和支承基部200的抵接面200a构成为从试样膜F的一个面(上表面)侧和另一个面(下表面)侧夹持试样膜F的中心部。

本实施方式所涉及的旋转驱动部202构成为使支承基部200以该支承基部200的中心轴线为中心来旋转。支承基部200的中心轴线的朝向与通过被支承基部200支承着的试样膜F的中心且沿上下方向延伸的纵轴线的朝向一致。旋转驱动部202构成为使试样膜F以该纵轴线为中心来旋转。

测定装置21构成为对到试样膜F的距离进行测定。

测定装置21配置于比试样膜F靠上方侧的位置。另外，测定装置21构成为能够使测定部(激光的照射口)与试样膜的上表面相向配置。因此，测定装置21所测定的到试样膜F的距离是指从测定装置21起到试样膜F的上表面的距离。此外，测定装置21所测定的距离例如也可以被计算为试样膜F的高度。

测定装置21能够在水平方向(与所述中心轴线延伸的方向正交的方向)上变更配置。测定装置21通过所述水平方向上的配置变更，如图3所示，在本实施方式中能够变更配置于与试样膜F的外周侧且比外周端靠内侧的区域相向的位置。

因此，关于由测定装置21对试样膜F进行测定的区域，在试样膜F的外周侧且比外周端靠内侧的区域、且与以该试样膜F的中心为原点的圆形(半径固定的圆形)的路线(以下称为测定路线)R对应的位置的各处，对到试样膜F的距离进行测定。此外，测定装置21的配置位置在试样膜F的测定中能够固定即可。

试样膜F的外周侧且比外周端靠内侧的区域例如是指比光学膜的半径的中点靠外侧且比外周端靠内侧的区域。另外，例如在光学膜的半径为20mm以上的情况下，试样膜F的外周侧且比外周端靠内侧的位置是以光学膜的外周端为基准而在径向上向光学膜的中心侧的偏离(位移量)为10mm以内的位置。这样，测定装置21能够配置于从光学膜的中心部向光学膜的(光学膜的径向外侧)偏离的位置。

此外，测定装置21既可以沿着所述周向来断续地(也就是说，沿着周向在多点)在测定路线R进行测定，也可以沿着所述周向而在整周上连续地在测定路线R进行测定。另外，测定装置21构成为至少在与所述中心轴线正交的方向上能够变更配置位置即可，也可以构成为还能够变更沿着所述中心轴线的方向上的配置位置。

如图1所示，基座22具备：台220，其用于设置支承装置20；以及架221，其固定于台220，且能够安装测定装置21。

台220中包含能够设置支承装置20的设置面220a，该设置面220a是朝向上下方向的上方侧的面。另外，在设置面220a上形成有用于使固定于支承基部200的试样膜F的朝向(周向上的朝向)对准的支承装置侧显示部220b。支承装置侧显示部220b例如能够由直线、点等标记构成，而在本实施方式中是由直线构成的。

处理装置3具备：卷曲信息导出单元30，其被输入由测定装置21测定出的所述距离来作为测定信息，并且基于该测定信息来导出表示试样膜F的卷曲的状态的卷曲信息；以及曲率信息导出单元31，其基于由该卷曲信息导出单元30导出的卷曲信息，来导出表示试样膜F的曲率的曲率信息。

此外，处理装置3例如也可以由个人计算机那样的具备CPU、存储装置等的装置构成。另外，处理装置3也可以构成为能够与测定单元2(测定装置21)进行无线通信或有线通信。

卷曲信息导出单元30既可以构成为从测定装置21直接被输入测定信息，也可以构成为从测定装置21间接被输入测定信息(即，也可以构成为被输入存储于硬盘等中的测定信息)。

另外，卷曲信息导出单元30导出表示从光学膜F的中心部向径向外侧偏离的位置且以试样膜F的中心为原点的圆周上的各位置处的测定信息的信息来作为卷曲信息。即，卷曲信息是指表示以试样膜F的中心为原点的周向上的测定信息的变化的信息。

此外，在构成为测定装置21沿着所述周向来断续地在测定路线R进行测定(即，在沿着所述周向的圆周上的多个地点(测定点)进行测定)的情况下，卷曲信息导出单元30也可以构成为被输入不连续的多个测定信息，但基于该多个测定信息来导出(近似出)没有测定的场所的测定信息来进行填补。另外，在测定装置21断续地对测定路线R进行测定的情况下，若对测定路线R整周中的10％～30％的区域进行测定，则卷曲信息导出单元30能够导出准确的卷曲信息。

例如，如图5所示，卷曲信息能够表现为以下曲线(以下称为卷曲曲线)C：该曲线C表现出从测定开始点到测定终点的一周的试样膜F的高度的连续性变化。在图5中，将与测定装置21测定出的测定信息相当的部分用“D1”表示，将卷曲导出单元30基于测定信息导出的(近似出的)测定信息用“D2”表示。如上所述，本实施方式的测定装置21构成为在沿着所述周向的圆周上的多个测定点获取测定信息，因此D1是标绘出在各测定点获取到的测定信息的点。

在卷曲信息中，试样膜F的测定区域的所述周向上的各地点的多个测定位置信息与按照各测定位置信息的测定信息(高度)被关联起来。

另外，在卷曲信息中包含作为测定信息所示的测定值从上升切换为下降的拐点的2个顶部侧拐点P1、以及作为测定信息所示的测定值从下降切换为上升的拐点的2个谷部侧拐点P2。

在试样膜F以朝向测定装置21侧翘曲的方式卷曲的情况下(以朝向定装置21侧的相反侧凸起的方式卷曲的情况下)，顶部侧拐点P1表示试样膜F的卷曲的谷部的最下部(卷曲的底部)的位置、具体地说是从测定装置21起到谷部的最下部的距离和试样膜F的所述周向上的该最下部的位置，谷部侧拐点P2表示试样膜F的卷曲的山部的顶部的位置、具体地说是从测定装置21起到山部的顶部的距离和试样膜F的所述周向上的该顶部的位置。

另一方面，在试样膜F以朝向测定装置21侧的相反侧翘曲的方式卷曲的情况下(以朝向定装置21侧凸起的方式卷曲的情况下)，顶部侧拐点P1表示试样膜F的卷曲的山部的顶部的位置、具体地说是从测定装置21起到山部的顶部的距离和试样膜F的所述周向上的该顶部的位置，谷部侧拐点P2表示试样膜F的卷曲的谷部的最下部(卷曲的底部)的位置、具体地说是从测定装置21起到谷部的最下部的距离和试样膜F的所述周向上的该最下部的位置。

因此，在试样膜F以朝向测定装置21侧翘曲的方式卷曲的情况下，能够通过确认连结试样膜F的中心点与2个顶部侧拐点P1所示的试样膜F的所述周向上的顶部的位置的直线的朝向，来确定卷曲的方向，另外，能够通过确认顶部侧拐点P1所示的从测定装置21起到顶部的距离与谷部侧拐点P2所示的从测定装置21起到最下部的距离之间的差异，来确定卷曲的强度(弯曲情况)。

另一方面，在试样膜F以朝向测定装置21侧的相反侧翘曲的方式卷曲的情况下，能够通过确认连结试样膜F的中心点与2个谷部侧拐点P2所示的试样膜F的所述周向上的顶部的位置的直线的朝向，来确定卷曲的方向，另外，能够通过确认顶部侧拐点P1所示的从测定装置21起到谷部的距离与谷部侧拐点P2所示的从测定装置21起到顶部的距离之间的差异，来确定卷曲的强度(弯曲情况)。

接着，参照图6、图7来说明曲率信息导出单元31导出曲率信息的曲率导出处理。首先，如图6所示，基于将卷曲样本近似为曲率(半径)R的圆(xy平面上的圆)而得到的圆来制作圆筒A，根据激光测量的测量轨迹(测定装置21在测定路线R上的测量轨迹)，基于半径r的圆(xy平面上的圆)来制作圆筒B。此外，圆筒A的曲面与圆筒B的曲面的交叉线上的点P为卷曲样本的测定值。

圆筒A用下式(1)表示。

[数1]

x

在配置卷曲样本时、设置测定装置21时，会产生卷曲样本的配置位置、测定装置21的设置位置、即测量位置的偏离(激光的测量位置的偏离)。

因此，当将卷曲样本的配置位置在X方向上的偏离量设为“δ”、将因测定装置21的设置位置的偏离而导致的测量位置的偏离量(激光的测量位置的偏离量)设为“φ”时，中心线向x方向倾斜了与δ相当的量且在以x轴为中心的周向上旋转了与φ相当的量的状态的圆筒B用下式(2)表示。此外，在图6中，将反映了卷曲样本的配置位置的偏离量δ、测定装置21的设置位置的偏离量φ的坐标系设为坐标轴x、y′、z′。

[数2]

(x-δ)

而且，在将A与B的交叉线上的点P的位置设为下式(3)的情况下，该式(3)的X、Z基于式(2)而成为下式(4)、(5)。

[数3]

P(X，Y，Z)…(3)

[数4]

X＝r cosθ+δ…(4)

[数5]

Z＝-r sinθ…(5)

另外，Y通过基于式(1)的下式(6)来表示。

[数6]

(r cosθ+δ)

因而，点P的位置用下式(7)表示。

[数7]

而且，用坐标轴x、y′、z′表示的坐标系中的点P的位置为下式(8)，Y′为下式(9)。

[数8]

[数9]

这样，通过激光测量而得到的曲线能够通过式(9)来近似。

在此，当式(9)中用d作为固定销(日语：固定ピン)的高度、用φ作为相位偏离时，测量值的理论式为下式(10)。

[数10]

并且，用下式(11)来定义将拟合参数作为成分的矢量u，当用u的各成分来对式(10)的y进行偏微分时，成为下式(12)～(16)。

[数11]

u＝(R φ d ψ δ)

[数12]

[数13]

[数14]

[数15]

[数16]

将测量数据设为(Y

[数17]

F

[数18]

在该情况下，平方和J的各拟合参数下的梯度矢量

[数19]

而且，使用了高斯牛顿近似的黑塞矩阵H成为下式(20)。

[数20]

另外，曲率信息导出单元31能够按照以下1～10的过程来执行基于逻辑式(LM法)的拟合。

1.将c设为0.0001(此外，c是LM法的系数)。

2.给出u的初始值。

3.计算J(式(18))。

4.计算▽J(式(19))和H(式(20))。

5.解出下式(21)的联立方程式来求出Δu。

[数21]

6.如接下来那样通过u+Δu来计算u′。

7.用u′来计算式(18)并设为J′。

8.如果J′>J，则将c更新为10c，返回到上述5的过程。

9.如果不是J′>J，则将c更新为c/10，将J更新为J′，将u更新为u′。

10.如果||Δu||<ε(ε是收敛判定值)，则将u返回到式(11)后结束，如果不是||Δu||<ε则返回到上述4的过程。

本实施方式所涉及的分析装置1的结构如以上所述。接着，参照附图来说明分析方法。

本实施方式所涉及的分析方法基于遍及试样膜F的周向整周地连续变化的位置信息(在本实施方式中为高度)，来导出能够掌握卷曲的状态的信息。

更具体地说明，在分析方法中，制作试样膜F，并将该试样膜F设置于支承装置20，由测定装置21来进行试样膜F的测定，之后由处理装置3导出卷曲信息、曲率信息。

如图8所示，通过将从卷状的卷筒陆续送出光学膜而得到的送出部分S剪切为圆形，来形成试样膜F。此外，在图8中，从送出部分S剪切3张试样膜F，但是剪切试样膜F的张数能够适当变更，剪切试样膜F的位置也能够适当变更。

另外，在本实施方式中，在剪切试样膜F之前，对送出部分S中的剪切试样膜F的预定区域形成用于与支承显示侧显示部对准来决定固定到支承基部200上的试样膜F的朝向的膜侧显示部M。

此外，在图8中，将通过剪切试样膜F的预定区域的直线作为膜侧显示部M。

接着，将试样膜F固定于支承基部200的抵接面200a。在本实施方式中，在使试样膜F的中心部的一侧的面抵接于支承基部200的抵接面200a之后(载置之后)，从试样膜F的上方侧将固定部201安装到支承基部200的抵接面200a。

由此，试样膜F以使所述中心轴线与上下方向对应的状态，通过固定部201和支承基部200的抵接面200a来从一面侧及另一面侧夹持中心部。

此外，在将试样膜F固定到支承基部200时，能够通过确认支承装置侧显示部220b与膜侧显示部M的位置关系来决定试样膜F的朝向，因此能够可靠地确定卷曲的产生方向。

接着，将测定装置21配置在所述中心轴线延伸的方向(在本实施方式中为上下方向)上与试样膜F的外周侧相向的场所、更具体地说、在上下方向上与试样膜F的外周侧且比该试样膜F的外周端靠内侧的位置相向的场所。

由此，试样膜F、测定装置21的准备完成，接着，如图9所示，测量测定装置21对材料膜F的测定地点θ(以所述纵轴线(沿上下方向延伸且通过所述中心轴线的轴线)为中心的周向上的测定位置)、以及测定装置21在该测定地点θ测定出的到试样膜F的距离y(S1)，导出测定装置21的测量半径r(S2)，导出支承装置20对试样膜F的支承位置(支承位置的高度)d(S3)，然后，使用得到的θ、y、r、d来执行所述逻辑式的拟合(S4)，曲率信息导出单元31执行曲率导出处理(S5)。其结果，基于式(11)通过拟合来计算R、φ、ψ、δ的值。1/R表示曲率，ψ表示卷曲的方向。也就是说，在曲率导出处理中还导出卷曲的方向。

在测量测定装置21在测定地点θ测定出的到试样膜F的距离y时(S1)，由旋转驱动部202使支承基部200旋转，由此使试样膜F以所述纵轴线(沿上下方向延伸且通过所述中心轴线的轴线)为中心来旋转。

此时，测定装置21的位置被固定，但是伴随着试样膜F的旋转，测定装置21的测定部位发生变化。

然后，测定装置21在测定路线R上对到试样膜F的距离y进行测定，获得关联了测定装置21在测定地点θ测定出的到试样膜F的距离y的信息来作为测定信息。并且，依次导出测量半径r和支承装置20对试样膜F的支承位置d。

由测定装置21测定出的测定信息被输入到卷曲导出单元30。在测定装置21断续地执行了测定路线R内的测定的情况下，向卷曲导出单元30导入不连续的多个测定信息，但是卷曲导出单元30基于被输入的多个测定信息来近似出没有测定的测定信息，由此导出卷曲信息(S4)。

接着，曲率信息导出单元31通过曲率导出处理导出表示卷曲的曲率的曲率信息、以及卷曲的方向(S5)。

如以上那样，根据本实施方式所涉及的分析装置1和分析方法，将形成为圆形的试样膜F的中心部支承于支承装置20，因此从试样膜F的中心部起到外周端的各位置的因自重导致的变形量(挠曲方)大致均匀。另外，本实施方式的试样膜F的从中心到外周端的各位置的距离(半径)相同或大致相同，因此因自重导致的变形量更容易均匀。

因而，能够在符合了试样膜F的测定部位(测定路线R整体)的测定条件的基础上基于由测定装置21测定出的所述距离来导出卷曲信息，因此处理装置3(更具体地说是卷曲信息导出单元30)能够导出准确度高的卷曲的分析结果(卷曲信息)。

另外，试样膜F的直径是10mm～100mm，因此不易因自重而变形，另外，也不易因支承于支承装置20而变形。

并且，由测定装置21对到试样膜F的外周侧且比试样膜F的外周端靠内侧的位置的距离进行测定，因此能够将避开了因支承于支承装置20而产生变形的试样膜F的中心部侧、以及形成试样膜F时容易产生毛边的外周端的位置作为测定对象(测定路线R)，因此能够提高测定装置21的测定精度。

而且，在本实施方式中，能够利用磁力将固定部201隔着试样膜F来安装到支承基部200，因此通过用支承基部200和固定部201夹持试样膜F，还能够使得不易将被支承装置20支承的试样膜F弄坏。

并且，在本实施方式中，由曲率导出单元31导出表示试样膜F的卷曲的曲率的曲率信息。卷曲的曲率不是根据试样膜F的尺寸而变化的参数，因此例如，即使在对尺寸不同的试样膜F的卷曲的状态进行比较的情况下，只要将各自的曲率信息之间进行比较，就能够准确地比较卷曲的状态。由此，例如，在制造光学膜的工序中，在将通过不同工序形成的试样膜F之间进行比较时，也能够获得该试样膜F之间的准确的比较结果。

此外，本发明的分析装置和分析方法并不限定于上述实施方式，在不脱离本发明的主旨的范围内能够施加各种变更，这是不言而喻的。

在上述实施方式中，试样膜F形成为从中心到外周端的各位置的距离(半径)相同或大致相同的圆形，但是并不限定于该结构。试样膜F例如也可以是椭圆形。

在上述实施方式中，支承基部200被设置为使长边方向与上下方向对应的姿势、即纵向，但是并不限定于该结构。例如，支承基部200也可以被设置为使长边方向与水平方向对应的姿势、即横向。在该情况下，试样膜F的中心轴线与通过试样膜F的中心且沿水平方向延伸的横轴线一致，旋转驱动部202使试样膜F以该横轴线为中心来旋转。

另外，支承基部200也可以被设置为使长边方向与作为上下方向同水平方向交叉的方向的交叉方向对应的姿势、即斜向。在该情况下，试样膜F的中心轴线与通过试样膜F的中心且沿所述斜向延伸的倾斜轴线一致，旋转驱动部202使试样膜F以该倾斜轴线为中心来旋转。

不论在支承基部200被设置为横向的情况下，还是在支承基部200被设置为斜向的情况下，只要在将测定装置21的配置位置固定且使试样膜F旋转的状态下进行测定，就能够使施加于试样膜F中的到达了测定装置21的测定点的部分的荷重一致，因此能够提高试样膜F的分析结果的准确度。

在上述实施方式中，固定部201构成为与支承基部200的抵接面200a协同地夹持该试样膜F，但是并不限定于该结构。例如，固定部201也可以形成为从支承基部200的抵接面200a伸出的针状，并构成为将该针状的固定部201穿透试样膜F。

在上述实施方式中虽未特别提及，但是处理装置3例如也可以具备导出卷曲的方向、大小的单元、基于卷曲信息、曲率信息来判定作为测定对象的试样膜F是否良好(光学膜是否良好)的单元。

附图标记说明

1：分析装置；2：测定单元；3：处理装置；20：支承装置；21：测定装置；22：基座；30：卷曲信息导出单元；31：曲率信息导出单元；31：曲率导出单元；200：支承基部；200a：抵接面；201：固定部；202：旋转驱动部；220：台；220a：设置面；220b：支承装置侧显示部；221：架；F：试样膜；M：膜侧显示部；P1：顶部侧拐点；P2：谷部侧拐点；R：测定路线；S：送出部分。