微细加工工具制备装置及方法、原位增材减材制造方法

摘要

本发明涉及一种微细加工工具制备装置及方法、增材减材制造方法，其中，装置包括中空夹头、针管、直流电源、基板和电解液槽；中空夹头的进液端连接有蠕动泵，中空夹头的夹持端连接针管的进液口，针管的出液口面向基板的喷液面；基板还连接有驱动机构；直流电源的两极分别连接针管和基板；蠕动泵，与电解液槽连接，用于泵出电解液槽中的电解液，电解液流经中空夹头和针管喷射至基板的喷液面；针管，用于在开启蠕动泵和直流电源时，沉积流经的电解液形成微细加工工具。可见，利用针管沉积电解液中的金属离子，使得针管内径减小，得到更精细的管状电极。利用该微细加工工具进行增材减材加工，能够形成更精细的微结构，提高增材减材制造的精度。