激光精加工方法和用于在工件上提供精加工图案的设备

摘要

本申请涉及一种用于通过激光设备(1)在工件(2)上提供精加工图案的方法，该激光设备(1)包括生成输出激光束(11)的至少一个激光源(10)，优选为脉冲式激光源、用于所述激光束的移动装置(12)以及用于控制所述激光源(10)和所述移动装置(12)的控制单元(101)。该方法包括以下步骤：提供命令指令以供操作所述激光设备(1)以在工件(2)上划刻预定精加工图案；以及根据所述命令指令来操作所述激光源(10)和所述移动装置(12)以生成供在所述工件(2)上划刻预定精加工图案的线的所述输出激光束(11)。操作激光源的步骤包括至少一个操作模式(C)，其中通过改变激光束(11)的扫描速度(V)，由所述激光束(11)递送的每单位表面的能量是可变的，优选地在单条扫描线内是可变的，并且激光源的输出功率(P)和/或占空比(DC)被保持在恒定值。