腰果酚的改性方法、改性腰果酚、光刻胶及其用途

摘要

本申请涉及光刻领域，公开一种腰果酚的改性方法、改性腰果酚、光刻胶及其用途。该腰果酚的改性方法包括以下步骤：将腰果酚与醇胺类物质在溶剂中混合，对所述腰果酚中的长碳链的双键进行加成反应，得到中间产物；所述中间产物与含有环氧基的酯类单体反应，以使所述含有环氧基的酯类单体中的环氧基开环后与所述中间产物的酚羟基连接，得到改性腰果酚。利用该改性方法获得改性腰果酚用于光刻胶中时，可改善光刻胶膜缩率大、耐水耐化学性差、附着力低的问题。