基于衍射-干涉混合的超高光谱分辨率的远紫外光谱仪

摘要

本公开的基于衍射‑干涉混合的超高光谱分辨率的远紫外光谱仪，通过光阑1调整远紫外准直光束垂直照射到等腰衍射光栅2；等腰衍射光栅2将远紫外准直光束衍射成与远紫外准直光束的光谱相邻的两级光谱光束，一级光谱光束经反射镜3与反射镜4后照射到等腰衍射光栅2上，另一级光谱光束经反射镜4与反射镜3后照射到等腰衍射光栅2上；根据光路可逆原理，将经反射镜3与反射镜4反射的两级光谱光束合成一束平行光，将平行光反射到聚光反射镜5后，经平面反射镜6反射到探测器7进行成像，得到两级光谱光束的干涉图。能够在较弱的远紫外信号下实现大视场成像，具有较高的空间分辨率与光谱分辨率，且体积小、精度高、光路简单。