一种激光织构仿生电容式柔性压力传感器及其制备方法

摘要

一种激光织构仿生电容式柔性压力传感器及其制备方法，属于柔性压力传感器领域。仿生电容式柔性压力传感器从上至下依次包括上电极柔性基底、上电极导电层、柔性电介质层和下电极薄膜，所述上电极导电层为海绵状疏松多孔结构导电材料，所述柔性电介质层的A面为集成仿生蝴蝶鳞片层叠结构和仿生蛾眼结构阵列；所述柔性电介质层的B面为微孔结构阵列，所述柔性电介质层在传感器组装中A面在上，B面在下。通过激光对两种仿生结构进行织构，有效提升压力传感器的灵敏度和线性范围，制备方法简单、模板可控、加工速度快、重复性好、模板可重复使用、传感器灵敏度高、线性范围宽、检测限低。