倾斜角度预测方法及装置、设备监控方法、介质及设备

摘要

本公开是关于一种刻蚀孔倾斜角度预测方法、刻蚀设备监控方法、刻蚀孔倾斜角度预测装置、计算机可读存储介质及电子设备。该蚀孔倾斜角度预测方法包括：确定刻蚀设备在不同运行阶段的监测样品表面待刻蚀物的刻蚀速率的预设变化范围；获取刻蚀设备在当前运行阶段的监测样品表面待刻蚀物的刻蚀速率变化曲线；在刻蚀速率变化曲线超出预设变化范围时，确定刻蚀设备当前所刻蚀的刻蚀产品的刻蚀孔的倾斜角度超过预设角度。本公开实施简单成本低，且可达到实时预测当前刻蚀产品的刻蚀孔倾斜角度的目的。