硅片边缘抛光装置、抛光鼓及抛光方法

摘要

本发明公开了一种硅片边缘抛光装置、抛光鼓及方法，所述硅片边缘抛光装置包括转动件、中部转动连接在所述转动件上的连杆、安装在所述连杆的一端并且能够与硅片的边缘接触的抛光垫、设置在所述连杆另一端的配重和用于监测所述抛光垫对硅片压力的压力传感器，所述连杆的旋转中心线与所述转动件的轴线垂直，当所述转动件旋转时，所述配重驱动连杆转动以使得所述抛光垫与所述硅片边缘接触。本发明提供的硅片边缘抛光装置、抛光鼓和方法能够在对硅片边缘抛光时避免硅片碎片和边缘品质恶化。