一种基于内共振的微量物质和驱动力同步传感器及方法

摘要

本发明属于质量传感技术领域，尤其涉及一种基于内共振的微量物质和驱动力同步传感器及方法；其中微驱动器固定在基座底部，达芬低频谐振单元固定在基座顶部，线性高频谐振单元底部固定在基座右端，且达芬低频谐振单元和线性高频谐振单元的振动方向正交；振动耦合单元的两部分分别固定在达芬低频谐振单元右端和线性高频谐振单元顶端，特异性吸附层沉积在线性高频谐振单元右表面，且达芬低频谐振单元和线性高频谐振单元上分别固定有微换能器；利用达芬低频谐振子和线性高频谐振子之间的内共振，使达芬低频谐振子的幅频特性曲线出现凹陷和跳变，通过凹陷频率和幅值跳变频率分别实现对微量物质和驱动力传感，并通过倍频响应实现灵敏度放大。