一种集成射频、静电防护器件的火工品换能元的制备方法

摘要

本发明公开了一种集成射频、静电防护器件的火工品换能元的制备方法，至少包括以下步骤：步骤S1：在N型重掺杂衬底上采用外延工艺形成N‑外延层；步骤S2：在N‑外延层上形成热氧化形成绝缘层，通过光刻形成注入区开口；步骤S3：在N‑外延层上采用离子注入或者扩散的方式制备两个注入区，经过退火形成PN结的P区，与N‑外延层形成PN结；步骤S4：在绝缘层上形成换能元并与P区电气连接使两个PN结背靠背连接的并联支路；步骤S5：在换能元上形成电极层以与外部电路相连接。采用本发明的制备工艺，能够按照需求，向专业的外延片供应商定制所需要的外延片厚度和电阻率，来到达所需的保护电压，简化了对后续集成火工品制作对工艺参数的控制要求。