适用于半导体器件动态测试系统电流精准控制电路及方法

摘要

本发明公开了适用于半导体器件动态测试系统电流精准控制电路及方法，所述控制电路包括主电路和闭环控制回路，主电路包括高压电源P1、电流互感器CT1和待测件DUT，所述闭环控制回路包括数模转换电路IC1、比较电路IC2、处理器IC3、逻辑与门电路IC4以及驱动电路DRV，数模转换电路IC1的输出端与比较电路IC2的同相端连接，比较电路IC2的反相端与电流互感器CT1连接，比较电路IC2的输出端以及处理器IC3均与逻辑与门电路IC4的输入端连接，逻辑与门电路IC4的输出端与驱动电路DRV连接，驱动电路DRV与待测件DUT的受控端连接；本发明的优点在于：实现动态测试系统的电流精准控制。