非晶碲镉汞单片集成式焦平面探测器

摘要

非晶碲镉汞单片集成式焦平面探测器，其特征在于：由读出电路，铝电极，下电极，光敏层和上电极组成。在读出电路上设计有铝电极，铝电极上设计有凹槽，在凹槽内沉积金属下电极，下电极通过铝电极与读出电路连接，在读出电路、铝电极以及下电极三个部分的表面上设计有光敏层，在光敏层上沉积金属上电极。该探测器可用于红外波段和可见光波段。通过实验测试证明：本发明能简化焦平面探测器制造工艺，消除探测器芯片和读出电路两者的材料差异，避免探测器芯片和读出电路之间产生应力或应变，使单片集成式焦平面探测器的可靠性得到显著改善，并使探测器具有较高的外量子效率。