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使用掠射入射FIB铣削进行样品的大面积3D分析的方法

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摘要

本文公开了使用掠射入射FIB铣削进行样品的大面积3D分析的方法和设备。实例方法至少包括：用聚焦离子束，以浅角度和以多个旋转取向铣削样品，以去除一层所述样品并暴露表面，并且在铣削之后，用带电粒子束对所述样品的暴露表面进行成像。

著录项

  • 公开/公告号CN112683929A

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2021-04-20

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 FEI 公司;

    申请/专利号CN202011109443.6

  • 发明设计人 C·鲁;J·王;A·P·J·M·波特曼;J·克里斯蒂安;K·曼尼;G·基斯;

    申请日2020-10-16

  • 分类号G01N23/00(20060101);G01N23/2202(20180101);G01N23/2251(20180101);

  • 代理机构72001 中国专利代理(香港)有限公司;

  • 代理人张凌苗;周学斌

  • 地址 美国俄勒冈州

  • 入库时间 2023-06-19 10:41:48

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2022-11-08

    实质审查的生效 IPC(主分类):G01N23/00 专利申请号:2020111094436 申请日:20201016

    实质审查的生效

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