一种真空蒸镀用基片辅助降温系统及工作方法

摘要

本发明公开了一种真空蒸镀用基片辅助降温系统及工作方法，包括设置在蒸镀舱室内的水冷基板，以及开设在水冷基板上的进水口和出水口，所述水冷基板上开设通孔，安装有第一阀门的连接管一端与通孔连接，连接管的另一端与舱室外液氮存储装置连通；所述蒸镀舱还连接有分子泵，所述分子泵与蒸镀仓之间通过管道连通，管道上安装有第二阀门。在传统水冷降温方法的基础上，添加辅助降温装置，在传统水冷无法满足降温需求的时候，对基片进行强制降温，提高降温效率，避免电池膜层过热受损。