一种基于数字全息的石英振梁加速度计摆片的三维形貌检测方法

摘要

本发明公开了一种基于数字全息的石英振梁加速度计摆片的三维形貌检测方法。该发明采用像面数字全息技术，获取摆片表面的全息图，利用参考全息图补偿高阶像差，对再现相位图进行解包裹运算，进而获得摆片表面的三维形貌。同时对挠性支撑结构采用双波长数字全息记录方法，分段测量挠性支撑结构的三维形貌，通过计算系统景深及轴向成像范围，多步再现，数字扩展景深，最后对各段测量结果曲面拟合，完成挠性支撑结构的三维重构。本发明因数据处理过程完全数字化，具有检测速度快、测量精度高、无损伤、三维面测量等优点，适用于多种加速度计摆片表面三维形貌检测，本发明可用于加速度计摆片的质量检测等。