一种工业级高浓度HF精制为电子级的FTrPSA分离与提纯方法

摘要

本发明公开了一种工业级高浓度HF精制为电子级的FTrPSA分离与提纯方法，涉及以工业级高浓度氟化氢(HF)为原料制备电子级HF的净化提纯，利用工业级AHF(气体)中各组分(HF为有效组分，H2O、H2SO4、SO2、SiF4、NH3、CO2、H2SiF6及微量的HCl、水溶性Me+离子及SS颗粒为主要杂质组分)本身在不同压力与温度下的吸附/精馏/膜分离系数及物理化学性质的差异性，采取以两段中温变压吸附工序为主与HF精馏/膜分离耦合，使得中温变压吸附过程中吸附与解吸易于匹配和平衡的循环操作来进行分离与净化，从而实现电子级HF产品的制取。本发明解决了AHF精制受制于传统精馏、蒸馏、吸收或化学吸附等分离过程的相平衡或吸附剂使用寿命短的问题，填补了该技术领域的空白。