适用于半球谐振子的一次成膜无遮挡镀膜夹具

摘要

本发明提供了一种适用于半球谐振子的一次成膜无遮挡镀膜夹具，包括：顶针、卡头、弹性件和拉杆，谐振子的中心轴的一端与卡头座相接触，卡头座与卡头连接，谐振子中心轴的另一端固定在顶针上；弹性件套设于拉杆上；顶针和拉杆形成拉杆顶针，拉杆顶针的压力由弹性件进行调节。本发明应用于谐振子表面金属化镀膜过程中，可使夹持夹具与谐振子接触面积小，对谐振子任何表面无遮挡，所有表面能够一次成膜，无需翻面镀制；夹具对谐振子有效夹持，可避免半球谐振子在装夹过程中的损伤，能够与运动机构配合完成多维运动。本发明解决了半球谐振子内外表面无法一次性无遮挡成膜的问题，提高生产效率。