一种高反物体表面缺陷检测方法及系统

摘要

本发明涉及表面缺陷检测技术领域，尤其涉及一种高反物体表面缺陷检测方法，包括：对待检测物表面进行相位偏折初步检测，并标记检测出的可疑缺陷位置；在可疑缺陷位置处生成覆盖可疑缺陷所在区域的最小规则二维几何图形；确定最小规则二维几何图形的长度方向；沿最小规则二维几何图形的长度方向对可疑缺陷进行暗场检测；根据暗场检测结果确定损毁型缺陷。本发明通过使用相位偏折方法进行初步检测，并在检测出的可疑缺陷上生成最小规则二维几何图形，通过继续朝向最小规则二维几何图形长度方向进行暗场检测的方法，减少了对损毁型缺陷的误检测，提高了检测的精度和效率。本发明还请求保护一种缺陷检测系统。