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一种退火炉双燃料在线快速切换装置

摘要

本发明公开了退火炉双燃料在线快速切换装置,包括有退火炉本体,所述退火炉本体包括箱体,所述箱体内设置有内衬箱,所述箱体一侧转动连接有连接门,所述连接门通过箱锁与箱体锁合,所述第一电磁阀和第一气体流量控制器电性连接两组所述三通连接件另一端均连通有第二气管,两组所述第二气管正上方分别连通有第二电磁阀和气体流量控制器,所述第二电磁阀和气体流量控制器电性连接,本发明的目的在于提供退火炉双燃料在线快速切换装置,通过本装置的设计,整体实现退火炉的燃料快速切换功能,一定程度上提高了退火炉工作效率,优化了现有的退火炉装置,以解决上述背景技术中提出的问题。

著录项

  • 公开/公告号CN112614793A

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2021-04-06

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 杭州黄俊环保科技有限公司;

    申请/专利号CN202011436290.6

  • 发明设计人 宫喜;

    申请日2020-12-10

  • 分类号H01L21/67(20060101);C30B33/02(20060101);

  • 代理机构

  • 代理人

  • 地址 310053 浙江省杭州市滨江区浦沿街道伟业路1号8号楼三楼-085(自主申报)

  • 入库时间 2023-06-19 10:29:05

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2022-10-18

    发明专利申请公布后的撤回 IPC(主分类):H01L21/67 专利申请号:2020114362906 申请公布日:20210406

    发明专利申请公布后的撤回

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