一种用于激光光斑整形的柔性可调节衍射光学元件、制备方法及其应用

摘要

本发明公开了一种用于激光光斑整形的柔性可调节衍射光学元件、制备方法及其应用，属于激光束整形技术领域，包括柔性可调节薄膜及衍射光学元件，所述衍射光学元件为衍射光栅或菲涅尔波带片；柔性可调节薄膜为衍射光学元件提供稳定的支撑及调节；衍射光栅位于柔性可调节薄膜内部，菲涅尔波带片位于柔性可调节薄膜的表面，均起到衍射光线作用，本发明采用“飞秒激光直写”技术在柔性可调节薄膜内部制备光栅/菲涅尔波带片结构；通过机械拉伸方式，可以快速驱动光栅、菲涅尔波带片的周期结构变化，从而得到可以灵活实现对激光光束整形的柔性可调节衍射光学元件。制备的光学元件具有结构稳定，不易受外界环境影响、可自由调控衍射元件光学性能等优点。