用于感测流体中的离子、分子或生物标志物的场效应晶体管器件或传感器

摘要

本公开涉及一种场效应晶体管器件或传感器，其包括至少一个漏极区、至少一个源极区、至少一个沟道区、连接到沟道区的至少一个第一栅极、包括至少一个金属层或金属延伸部以及至少一个通孔层或通孔延伸部的至少一个堆叠；或多个交替的(i)金属层或金属延伸部和(ii)通孔层或通孔延伸部，通过至少一个堆叠连接到至少一个第一栅极的至少一个第二栅极或第二层，至少一个第二栅极或第二层能够感测离子、和/或分子和/或生物标志物，以及连接到或设置在至少一个第二栅极或第二层上的至少一个微流体通道或结构。