石墨烯碳纳米管复合膜及其制备方法、以及薄膜晶体管阵列

摘要

本申请公开一种石墨烯碳纳米管复合膜及其制备方法、以及薄膜晶体管阵列。其中，所述石墨烯碳纳米管复合膜的制备方法包括以下步骤：采用电化学沉积法在金属基底的表面沉积石墨烯薄膜；采用原子层沉积法在所述石墨烯薄膜的表面沉积碳纳米管膜；以及采用去除剂去除所述金属基底，清洗后得到石墨烯碳纳米管复合膜。本申请的技术方案制备得到的石墨烯碳纳米管复合膜具有较高的电荷迁移率，较好的导电性能、优异的透光性、化学稳定性及机械性能，可以替代传统ITO材料并广泛应用于薄膜晶体管。