补偿室和工艺效应以改善修整工艺的关键尺寸变化

摘要

一种控制器包含存储器，其存储将累积值与相应的调整系数相关联的数据。所述累积值对应于在处理室内的表面上材料的累积，并且所述相应的调整系数对应于对提供至所述处理室的射频(RF)功率的控制参数的调整。累积计算模块被设置成计算第一累积值，所述第一累积值指出所述材料的累积量。RF功率控制模块被设置成：接收所述第一累积值；接收设定值功率和所述蚀刻步骤的持续时间中的至少一者；从所述存储器提取所存储的所述数据；基于所述第一累积值、所述设定值功率和所述蚀刻步骤的所述持续时间中的所述至少一者、以及所存储的所述数据来调整所述控制参数；以及根据所调整的所述控制参数来控制被提供至所述处理室的所述RF功率。