一种用于加工光学元件的非谐振振动辅助磁流变抛光装置及方法

摘要

本发明涉及一种用于加工光学元件的非谐振振动辅助磁流变抛光装置及方法，属于超精密加工领域。X、Y向气浮导轨安装在机床框架上，带动元件进行X、Y向运动；Z、Y向气浮导轨通过螺钉连接，使固定在Z向气浮导轨底端的抛光刀头运动平台沿Z向运动；磁铁旋转台固定在机床框架上，产生的动态磁场使磁流变液发生磁化反应形成磁簇；振动装置安装在磁铁旋转台上，带动元件进行二维振动。本发明提出的非谐振振动辅助磁流变抛光方法，利用旋转磁刷与二维振动相结合，使磨料与元件的表面微结构充分接触，二者的复合运动使磨料对元件的表面划痕、毛刺和裂纹进行有效去除，在提高抛光效率的同时，更好地保留了元件的形状精度。