基于单壁碳纳米管的自供能气体传感器的制备方法

摘要

本发明涉及气体传感器技术，具体为一种基于单壁碳纳米管的自供能气体传感器的制备方法。利用浮动催化剂化学气相沉积法制备并收集高质量单壁碳纳米管薄膜，直接转移担载于柔性透明基体上，以单壁碳纳米管作为气体敏感元件，以单壁碳纳米管薄膜/硅异质结制备太阳能光伏电池，再将电极材料，如：铜、金、银、铝等金属或碳纳米管、石墨烯、ITO等非金属，以磁控溅射、热蒸发、电镀、银胶等方式连接，即完成基于单壁碳纳米管的自供能气体传感器的组装。本发明实现了小而轻、高性能自供能气体传感器的制备，并可进一步通过优化设计集成柔性可弯折的自供能气体传感器，突破了目前金属氧化物气体传感器在柔性、重量、能耗、供能等方面的局限性。