基于能量色散荧光X光谱仪的待测样品参数检测方法及其检测系统

摘要

本申请涉及一种基于能量色散荧光X光谱仪的待测样品参数检测方法及其检测系统。其中，所述检测方法其通过特定算法对能量色散荧光X光谱仪所测量的数据进行处理，以提高厚度和元素含量测量的精度。特别地，所述检测方法能够克服相同元素干扰、量子线干扰等在实际测量过程中遇到的问题，以在提高测量精度的同时使得其适用范围得以扩展。