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用于近贴式光电探测器件的微通道板及其制备方法

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摘要

本发明提供一种用于近贴式光电探测器件的微通道板及其制备方法，在微通道板的输入面上依次形成NiCr连接层、金属铝膜层以及铝膜表面氧化层，NiCr连接层直接覆盖在微通道板的输入面表面；微通道板的探测收集效率在98％以上，应用于近贴式光电探测器件中，能够大幅的提高器件的探测效率。

公开/公告号CN112420476A

专利类型发明专利
公开/公告日2021-02-26

原文格式PDF
申请/专利权人北方夜视技术股份有限公司;
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申请/专利号CN202011195836.3
发明设计人邱祥彪;丛晓庆;张正君;李臻;王兴超;李婧雯;孙赛林;任玲;乔芳建;李磊;
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申请日2020-10-30
分类号H01J43/10(20060101);H01J43/08(20060101);H01J9/12(20060101);H01J9/02(20060101);
代理机构32404 南京行高知识产权代理有限公司;
代理人王培松;王菊花
地址 650217 云南省昆明市经济技术开发区红外路5号
入库时间 2023-06-19 10:00:31

1. 用于近贴式光电探测器件的微通道板及其制备方法 [P] . 中国专利： CN112420476A . 2021-02-26
2. 用于微流体器件气体排出的分布式排气装置及其制备方法 [P] . 中国专利： CN101554543B . 2011.04.27
3. METHOD FOR PRODUCING LONG SHEET PASTED WITH NEARLY-FRAME-SHAPED PRESSURE SENSITIVE ADHESIVE DOUBLE COATED TAPE, LONG OR RECTANGULAR SHEET PASTED WITH NEARLY-FRAME-SHAPED PRESSURE SENSITIVE ADHESIVE DOUBLE COATED TAPE, AND LIQUID CRYSTAL DISPLAY DEVICE [P] . 日本专利： JP2008285641A . 2008-11-27

机译：制备贴有近框形状的压敏胶粘双胶纸的长板，贴有近框形状的压敏胶粘双胶纸的长或矩形板的方法
4. Systems and methods for forming microchannel plate (MCP) photodetector assemblies [P] . 美国专利： US9704900B1 . 2017-07-11

机译：形成微通道板（MCP）光电探测器组件的系统和方法
5. SOLID STATE MICROCHANNEL PLATE PHOTODETECTOR [P] . 世界知识产权组织专利： WO2004100200A3 . 2005-05-12

机译：固态微通道板光电探测器