一种共面带状线行波电极及硅基马赫曾德尔调制器

摘要

本发明公开一种共面带状线行波电极及硅基马赫曾德尔调制器，具有共面波导‑共面带状线的宽带过渡结构，所述共面带状线行波电极包括第一接地线、信号线、第二接地线；所述第一地极接入端、所述信号接入端、所述第二地极接入端、所述第一过渡段、所述第二过渡段、所述场耗散过渡段构成共面波导‑共面带状线的过渡结构；所述第一地极接入端、所述信号接入端、所述第二地极接入端构成的共面波导结构；本发明通过共面带状线行波电极结构的利用，使得依靠一组行波电极即可实现单端推挽驱动，减小了电极面积，适用于多个调制器的集成，提高了集成度。