一种可自动调节照度均匀性的蝇眼透镜及曝光系统

摘要

本发明公开了一种可自动调节照度均匀性的蝇眼透镜，用于将入射宽光束分散成多道细光束后投射出去；包括多个可变透镜，各个可变透镜共面排列形成透镜阵列；各个可变透镜的焦距随其温度变化而变化。该蝇眼透镜可自动调节照度均匀性，无需人为干预或电脑控制。本发明还公开了一种采用上述蝇眼透镜的曝光系统。