投影微立体光刻技术中控制尺寸的方法

摘要

以特定的分离距离，通常在10微米的公差范围，确定两个基板上的平行表面。一个表面是硬窗的透明膜的表面。由透明窗或硬窗与另一个表面的距离所界定的间隙可以用于精确控制投影微立体光刻中各层的尺寸。