一种温度系数可调的耐1000℃高温金属薄膜热电阻及其制备方法

摘要

一种温度系数可调的耐1000℃高温金属薄膜热电阻及其制备方法，本发明属于温度传感器技术领域，具体涉及一种高温金属薄膜热电阻及其制备方法。本发明的目的是为了解决现有Pt膜热电阻在1000℃高温环境下Pt膜结构稳定性差、高温环境Pt膜表面防护弱、温度系数难以调控和高温引线连接可靠性低的问题。一种温度系数可调的耐1000℃高温金属薄膜热电阻包括耐高温基底层、高稳定感温层、耐高温防护层和高可靠引线防护层，且集成一体。方法：清洗陶瓷片；二、制备高稳定感温层；三、制备耐高温防护层；四、引线焊接；五、制备高可靠引线防护层。本发明通过三层的感温膜防护技术，实现高温环境下稳定测量。